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半導體行業涌現金融巨頭,機遇與挑戰并存,激光打標機的天下到來了

發布:2022-03-24 11:26作者:www.yattendonparish.com點擊:732次

激光器廣泛應用于半導體行業,全球十大半導體設備供應商中的許多都提供了廣泛的激光器選擇。例如,最近發現的一種 ASML 光刻設備在單個光刻設備中具有多個準分子激光器。市場領導者 KLA 為不同應用的不同測試設備選擇不同的激光源。 ASM 10 還為其獨有的激光技術申請了專利。
與半導體后端工藝、半導體界面或最終界面相比,激光應用的技術含量和復雜程度略高。那么在這部分半導體技術中使用激光來跟蹤半導體器件位置的突破點在哪里呢?
小編認為,隨著激光技術的不斷發展,激光打標和圓盤切割可以開始了。
有兩種類型的板標記:最終半導體工藝中板正面的板標記和最終工藝中板背面的端板。 Disc-ID打標對激光工藝和設備的穩定性提出了更高的要求,而光盤背面打標對軟件、成像系統和運動(相當于切割盤)的性能和精度要求更高??ㄆR別是半導體制造過程中的一個重要步驟。它基本上用一個唯一的代碼標識每個磁盤,允許它跟蹤下游過程。該工藝分為兩種:未拋光板上的硬打標和拋光板上的軟打標。軟標簽的材料和工藝更復雜。這就是為什么在本文中我們將仔細研究甜蜜的音符。在傳統的半導體工藝中,軟標記通常在工藝開始時可見,而一些特殊工藝,例如 B. 背光 CMOS 成像單元,則在工藝結束時進行標記。
我們先來看看標簽盾牌的前世今生。
1979 年推出了第一個商業光盤標記。WaferMark 345 和 Quantronix 114 YAG 管狀激光器由激光識別系統 (LIS) 開發,該系統開發了光盤識別標記。整機“簡單粗暴”,設計理念依然只追求快速、高效、無故障的半導體器件。
在接下來的幾年里,LIS不斷改進設備和工藝,以滿足客戶的工藝需求。使用 WaferMark II,JIS 創始人 Jim 憑借多年的經驗,逐漸開發了字體形狀和大小、點形狀(直徑、圓形和深度)、灰塵控制、位置和精度等。 并制定了半導體行業迄今遵循的 SEMI M12 標準。
盡管生活發生了變化,但激光或半導體行業很少有人熟悉 SIL。今天的晶圓品牌通過 Lumonics、GSI、ESI / MKS 獲得 ThinkLaser。
同時,Lumonics 和 GSI 擴展了軟品牌:
專有的 Nd: YLF 側泵浦半導體激光源和各種光學器件,如光束傳播和衰減,用于產生高質量的高斯射線。
2、同時打分,實時脈沖采樣,快速反饋及時調整,形成雙端反饋系統。
根據不同的晶圓材料和表面條件,脈沖寬度和能量也可以通過客戶端軟件和硬件進行優化,以在晶圓表面提供平滑、穩定和受控的無塵標記。
日志文件還實時記錄操作系統、激光器和通信終端的運行狀態,以供后期故障排除、芯片浪費分析和數據統計。機器錯誤的頻率每年不超過一到兩次。
5、與不同客戶的溝通接口和協調也相當成熟。與工廠伺服系統通訊,非接觸式全自動生產,完全符合半導體標準。
以 20 或 30 年前的激光技術和中小企業的規模,他們的技能確實值得稱道。而時至今日,一些優勢依然難覓蹤影,他們的許多專利,如超穩二極管泵浦激光器(ultrastable laser)和SuperSoftMark?工藝(打標工藝)仍然有效。本世紀初,市場占有率保持在90%,SigmaClean機型幾乎成為大型廠商的標配。
同時,經過近半個世紀的風風雨雨,Lumonics 和 GSI 也不斷成長壯大,為激光行業和晶圓標簽制造商開辟了廣闊的機遇。他們今天最大的競爭對手是印刷行業。 Wafer Marking、Innolas 和 Coherent / Rofin 許多員工努力工作并熱衷于 Lumonics / GSI。在基地,我們著眼于我們當地的企業。如果我們嘗試與世界上最大的半導體制造商合作,我們是否應該在行業中繼續發展和培養愛心和耐心?
唱片品牌的成長歷史表明,強大的硬件(尤其是激光器)、符合 SEMI 標準和完整功能的先進技術和軟件是必不可少的。那么晶圓打標設備的結構是怎樣的呢?有哪些技術挑戰?
光纖的發明最初是為了解決遠距離數據傳輸的問題。后來,由于數據網絡業務的快速增長,對光纖通信系統的速度、容量和距離提出了更高的要求。光纖發展的核心是解決一個實際問題,所以光纖的誕生和發展當然不是光纖歷史的終結。
第二次光纖革命在 1980 年代悄然開始,當時的重點是光纖讀取。美國。海軍研究實驗室 (NRL) 提供聲學光纖,可以擊??沉美軍并聽到蘇聯船只的聲音。來自英國南部的 David Payne 使用光纜來控制聲學傳感器船所需的極化行為。佩恩不會發明或開發玻璃纖維放大鏡。纖維的用途和發展具有獨特的特性(今天通常稱為非凡的纖維),使它們能夠感受環境的變化。他發現了 EliSnitzer,然后發現了康涅狄格州聯合技術研究中心,認為可以通過改變天空中的光線來理解低纖維釹纖維的想法。你叫什么名字?是時候甩掉她繼續前進了。
經過一個世紀的發展,玻璃纖維解決了從通訊到技術的諸多問題。世界上的光纖都有自己的模式(非光纖這里就不說了)。如圖18所示,光纖可分為通常的組合光纖和供個人使用和各種活動使用的特殊光纖。它們的性質;
優質材料有多種尺寸,包括石英玻璃和非常耐用的玻璃。經過數十年的測試和開發,玻璃的質量在很大程度上可以通過合成來控制。硅粉也是一種重要的光纖,如摻鉺光纖放大器(EDFA),它的波長比混合硅短(1550 nm),具有更好的光纖性能。 - 良好的溝通。
但在混絲材料選擇的早期,有很多適合光纖設計的光纖,比如:“軟玻璃”)。 Holmium和Tuliu使用的玻璃纖維,常用于第二部分的污染,是除特殊摻雜裝置外的主要研究領域。
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